晶圆清洗机

摘要

一种晶圆清洗机，包括主壳体、固定在主壳体上的清洗部和伺服系统，其技术要点是：所述主壳体内设有由伺服系统控制的伺服电机，伺服电机的输出轴上设有贯穿主壳体和清洗部连接处的真空轴，真空轴上设有真空发生器，真空轴末端设有吸盘；清洗部内设有步进电机，步进电机的输出端上设有摆杆，摆杆上设有喷头。从根本上解决了现有硅片清洗难度大的问题。其结构设计巧妙，具有结构简单、使用方便、维护成本低、清洗质量高等优点。

主权项

一种晶圆清洗机，包括主壳体、固定在主壳体上的清洗部和伺服系统，其特征在于：所述主壳体内设有由伺服系统控制的伺服电机，伺服电机的输出轴上设有贯穿主壳体和清洗部连接处的真空轴，真空轴上设有真空发生器，真空轴末端设有吸盘；清洗部内设有步进电机，步进电机的输出端上设有摆杆，摆杆上设有喷头。