| 摘要 |
Vorrichtung zur Vakuumbeschichtung von Substraten mit einem feststehenden Vakuumkammerteil (6) mit einer Öffnung, an der seitlich gegenüberliegend zwei um eine vertikale Achse drehbare Türen (1, 2) angebracht sind, derartig dass eine Tür (1, 2) die feste Vakuumkammer (6) vakuumdicht verschließen kann, während die jeweils andere Tür (1, 2) geöffnet ist, und bei der die zu beschichtenden Substrate in drehbaren Substrathalterungen (16, 17, 18, 19) mit vertikalen Längsachsen in den Türen (1, 2) gehaltert werden können, dadurch gekennzeichnet, dass–als Verdampfungseinrichtung mindestens ein Rohrmagnetron (11) vorhanden ist,–welches im feststehenden Vakuumkammerteil (6)–mit einer Längsachse im Wesentlichen parallel zu den Längsachsen der Substrathalterungen (16, 17, 18, 19) angeordnet ist,–wobei im Inneren des Rohrmagnetrons (11) ein um die Längsachse drehbares Magnetsystem (20) vorhanden ist,–derart dass der Wirkbereich der Zerstäubung wahlweise und/oder abwechselnd auf eine der Substrathalterungen (16, 17, 18, 19) oder eine andere Position ausgerichtet werden kann. |
