一种投影物镜系统

摘要

一种投影物镜系统，从物面至像面依序排列有：光焦度为正值的第一透镜组；光焦度为负值的第二透镜组；光焦度为正值的第三透镜组；光焦度为负值的第四透镜组；光焦度为正值的第五透镜组，其分为两组子透镜组；以及在两组子透镜组之间具有一光阑；该投影物镜系统之特征在于，其有效焦距f、该物面至像面的距离L、该光阑之各个视野所发出的光束最大直径之差ΔR、与该光阑之中心视野所发出光束的最大直径R满足以下条件：0.12<|L/f|<0.4；以及ΔR/R<1%。

主权项

一种投影物镜系统，从物面至像面依序排列有：第一透镜组，其光焦度为正值；第二透镜组，其光焦度为负值；第三透镜组，其光焦度为正值；第四透镜组，其光焦度为负值；第五透镜组，其光焦度为正值，具有第一、第二子透镜组；以及光阑，其位于该第五透镜组的第一、第二子透镜组之间；其特征在于，该投影物镜系统至少包括两种光学材料，一种是工作波长之折射率大于1.6的高折射率材料，另一种是工作波长之折射率小于1.6的低折射率材料；其中，该第五透镜组的第一子透镜组均为正透镜，且透镜材料均为低折射率材料；该第五透镜组的第二子透镜组包括一片负透镜，该负透镜的后表面为非球面且透镜材料为高折射率材料；除光阑中心视野以外的各个视野所发出的光束最大直径之差△R、与光阑之中心视野所发出光束的最大直径R满足：△R/R<1%。