半导体制程之失效侦测方法及执行此方法之系统架构

摘要

一种半导体制程之失效侦测方法，包括下列步骤：提供机台储存资料库；由机台储存资料库收集失效侦测参数；设立具有以量测线上量测参数的量测站点；收集失效侦测参数相对应之晶圆允收度参数；建立失效侦测参数与线上量测参数的第一关系式；藉由第一关系式建立线上量测参数与晶圆允收度参数的第二关系式；建立失效侦测参数与晶圆允收度参数的第三关系式；藉由第一关系式、第二关系式及第三关系式建立侦测制程缺陷的警示区；及利用警示区用以判断半导体制程产生缺陷的情形。本发明另提供执行上述方法之系统架构。

主权项

一种半导体制程之失效侦测方法，其由一用以执行所述半导体制程之失效侦测方法之系统架构所执行，所述半导体制程之失效侦测方法，包括下列步骤：提供至少一机台储存资料库；由该机台储存资料库收集多数个失效侦测参数；设立多数个具有以量测多笔线上量测参数的量测站点；收集该些失效侦测参数相对应之多数个晶圆允收度参数；建立上述失效侦测参数与上述线上量测参数的第一关系式；藉由上述第一关系式建立上述线上量测参数与上述晶圆允收度参数的第二关系式；建立上述失效侦测参数与上述晶圆允收度参数的第三关系式；藉由上述第一关系式、第二关系式及第三关系式建立一侦测制程缺陷的警示区；及利用上述警示区用以判断半导体制程产生缺陷的情形。