电浆处理之设备与方法

摘要

本发明系揭示一种用于电浆处理之设备，包含：腔室，用以电浆处理；及至少一个感应线圈，用以提供邻近于该腔室之无线电频率感应场。其更包含感应线圈之末端，系连接至无线电频率电力供应器；感应线圈之另一末端，其为开放式的；及电感器之接地端，其系设在大体上该感应线圈之中心位置。

主权项

一种用于电浆处理之设备，包含：腔室，用以电浆处理，该腔室具有一外壁；及至少一个电感器，用以提供邻近于该腔室之无线电频率感应场，其中该电感器系圆柱螺旋线圈，该电感器包含：一末端，其系连接至无线电频率电力供应器；另一末端，其为开放式的；及一接地端，其系在该末端和该另一末端之间该电感器长度的实质上中心的位置处接地；其中，开放式的该另一末端，相对连接至该无线电频率电力供应器之该末端处之电压，产生相等并相反之电压。