闸阀及基板处理系统

摘要

本发明的闸阀(70)，具备：具有形成进行搬运之复数开口部(71a)的垂直壁的壳体(71)；设置在壳体(71)内，开口部(71a)开合用的阀体(81)；使阀体(81)升降的阀体升降机构(73)；与阀体升降机构(73)的升降一起使得阀体(81)转动的阀体转动机构(75)；及将阀体(81)的密封面推压于开口部的阀体推压机构(74)。阀体升降机构(73)使阀体(81)在开口部对应位置与退避位置之间升降，阀体转动机构(75)藉着阀体升降机构(73)使得阀体(81)升降时转动阀体(81)，阀体推压机构(74)推压位于开口部对应位置的阀体(81)。