振动控制的基板传送机械臂、系统及方法;VIBRATION-CONTROLLED SUBSTRATE HANDLING ROBOTS, SYSTEMS, AND METHODS

摘要

本文之实施例揭示了振动控制的机械臂设备。设备包括机械臂，该机械臂具有可经操作以输送基板之端效器；耦接至机械臂之感测器，该感测器可经操作以在机械臂输送基板时感测振动，及操作该机械臂以减少支撑基板之端效器之振动。在一些实施例中，马达驱动电路中提供一滤波器以过滤导致端效器不利振动之一或更多个频率。本文亦提供振动控制系统及操作该系统之方法，及其他态样。