使用测温仪而对锥形灯头内的灯所爲之多区域控制;MULTIZONE CONTROL OF LAMPS IN A CONICAL LAMPHEAD USING PYROMETERS

摘要

所述系一种用于处理半导体基板的方法与设备。该设备系具有光学透明的上部圆顶与下部圆顶的处理腔室。在处理过程中,处理腔室维持真空。藉由沿着处理区域外的上部圆顶流动热控制流体以热控制上部圆顶。热灯被定位在靠近下部圆顶,热感测器被设置在灯之间。灯系区域供电,控制器根据热感测器所接收到的资料以调整供给灯区的电源。