用于处理一工件以及其所形成之物件之方法与装置;METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING A WORKPIECE AND AN ARTICLE FORMED THEREBY

摘要

一种制造程序,其系可应用于将晶粒从一基板单一化(singulating),其中该基板具有一层,该层可藉由诸如脆性的一机械性质而与该基板区别。该程序可包括:提供包括一基板以及布置在一第一表面上之一层的一工件;诸如藉由加压来修改该机械性质;使邻近于该层之该部份的该基板之一区域变形,该层系具有该已修改的机械性质;以及使该层之该部分在一位置处断裂,该位置系邻近于该基板之该经变形的区域。该程序亦可包括:在沿着该层之该已修改的部分之一路线上,扩散一裂缝穿过该基板的一区域。本发明亦提供以此方式形成的一晶粒。