光阻剂的供应方法及光阻剂的供应装置

摘要

一种光阻剂的供应装置，包含一瓶体、一第一储存桶、一第二储存桶、一入液管路、一出液管路、一气体供应源及一抽气单元。第一储存桶供容装光阻剂，并包括一第一上开口及一第一下开口。第二储存桶供容装光阻剂，并包括一第二上开口及一第二下开口。入液管路、抽气单元及气体供应源分别连通瓶体、第一上开口及第二上开口。出液管路连通第一下开口及第二下开口。透过抽气单元持续对第一储存桶或第二储存桶内抽气一段时间，才能使第一储存桶或第二储存桶内的气泡更容易上浮至光阻剂的表面，使气泡破裂，供应稳定的光阻剂，更能提高制程良率。