半导体装置及半导体装置的制造方法

摘要

半导体装置是具有:第1导电型的接触领域、第2导电型的本体领域、第1导电型的漂移领域、沟、绝缘膜、闸极电极、及第2导电型的浮动领域。沟是从半导体基板的表面贯通接触领域及本体领域而形成,其底部是位于漂移领域内。绝缘膜是覆盖沟的内面。闸极电极是以绝缘膜覆盖的状态下收容于沟内。浮动领域是设在漂移领域内之中比沟的底部深的位置,且与沟的底部邻接。浮动领域是具有:与沟的底部邻接的第1层、及设在比第1层更深的位置的第2层。第1层的宽是比第2层的宽更宽。