| 发明名称 |
具有整合式枢轴架座的微型拾取阵列;MICRO PICK UP ARRAY WITH INTEGRATED PIVOT MOUNT |
| 摘要 |
本文揭示了用于自载体基板转移微型装置之系统及方法。在实施例中,微型拾取阵列结构容许微型拾取阵列与载体基板自对准。可侦测微型拾取阵列之挠曲以控制微型拾取阵列之进一步移动。 |
| 申请公布号 |
TW201430986 |
申请公布日期 |
2014.08.01 |
| 申请号 |
TW102146161 |
申请日期 |
2013.12.13 |
| 申请人 |
勒克斯维科技股份有限公司 |
发明人 |
果达丹瑞思;海杰森约翰Ａ;比柏安德瑞斯 |
| 分类号 |
H01L21/67(2006.01);H01L23/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
LUXVUE TECHNOLOGY CORPORATION 美国 |
