热处理装置;HEAT TREATMENT APPARATUS

摘要

本发明关于一种热处理装置,其具备:反应管,系于下方具有炉口;盖体,系密闭该反应管的该炉口;热处理舟,系透过脚部而支撑于该盖体;以及旋转轴部,系贯穿该盖体而延伸,且连结于该脚部的下方部来使该脚部旋转;其中该盖体系具有围绕该脚部的下方部且朝上方突出之围环;从非活性气体供应部对该盖体与该旋转轴部之间的空间供应非活性气体,并从该脚部的下方部与该盖体的围环之间的空间来将该非活性气体排出至该反应管内。