发明名称 超调控制加热方法
摘要 一种超调控制加热方法,包含有下列步骤:a)提供密闭之加热腔体、加热器以及控制加热器温度之温度控制器,加热器及受热物设置于加热腔体内,且加热器及受热物温度回馈传输至温度控制器;b)设定目标温度、误差容许値以及与目标温度相差在误差容许値内的有效温度范围;c)将加热器温度调升至高于有效温度范围上限之第一设定温度;以及d)在受热物温度进入有效温度范围后,将加热器温度调降至第二设定温度,且加热器温度持续高于受热物温度;藉此,该方法之加热效率高、较为节能,并可达到快速加热之制程条件,且能有效定义出受热物持温之时间。
申请公布号 TW201430953 申请公布日期 2014.08.01
申请号 TW102101700 申请日期 2013.01.16
申请人 生阳新材料科技有限公司 发明人 黄世壬;赖文波;廖科峰;陈君健;赵子铭;任常宝;孟良;曾昭隆
分类号 H01L21/324(2006.01) 主分类号 H01L21/324(2006.01)
代理机构 代理人 <name>吴宏亮</name><name>刘绪伦</name>
主权项
地址 ADPV TECHNOLOGY LIMITED 萨摩亚