| 发明名称 |
气液分离装置及研磨装置;GAS-LIQUID SEPARATOR AND POLISHING APPARATUS |
| 摘要 |
本发明之气液分离装置具备：气液分离槽；气液导入管，其系延伸至前述气液分离槽之内部，而在前述气液分离槽内导入气液二态流体；喷嘴，其系朝向滞留于前述气液分离槽底部之液体喷洒纯水；排液管，其系与设于前述气液分离槽底部之液体排出口连通；及排气管，其系与设于前述气液分离槽侧部之排气口连通；前述排气口比前述气液导入管之下端位于上方。 |
| 申请公布号 |
TW201429627 |
申请公布日期 |
2014.08.01 |
| 申请号 |
TW102147399 |
申请日期 |
2013.12.20 |
| 申请人 |
荏原制作所股份有限公司 |
发明人 |
牛丸诚也 |
| 分类号 |
B24B55/02(2006.01);B24B55/12(2006.01) |
主分类号 |
B24B55/02(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
<name>陈传岳</name><name>郭雨岚</name><name>锺文岳</name> |
| 主权项 |
|
| 地址 |
EBARA CORPORATION 日本 |
