ＬＥＤ之基板重制方法

摘要

一种LED之基板重制方法，其系利用电浆蚀刻技术去除成长在基板上之不良磊晶层，基板系包含素基板及已奈米图案化之基板，电浆蚀刻技术可透过电浆蚀刻设备实现，其中电浆蚀刻设备系使用有适当之气体，以及将反应温度及功率控制于特定范围内，接着再透过清洗处理，即可将成长不良之磊晶层完全去除，不良之磊晶层完全去除后，基板则可回复原状，因此可在基板上再次成长磊晶层，藉以有效提升蓝宝石基板之利用率，节省原料成本并可提升产品良率。

主权项

一种LED之基板重制方法，系包含：提供一基板，该基板上已成长有一磊晶层；利用一电浆蚀刻技术去除形成于该基板上之该磊晶层；以及对已去除磊晶层之基板表面进行一清洗处理；其中该清洗处理系将已去除磊晶层之基板浸泡于一清洗台维持一期间，该清洗台具有一药液，接着利用快排冲水清洗槽冲洗该基板之表面。