具气帘之可移动微腔室系统;MOVABLE MICROCHAMBER SYSTEM WITH GAS CURTAIN

摘要

本发明系一种具有气帘之可移动微腔室系统。可移动微腔室系统具有一顶部构件与一可移动载台组件,顶部构件具有一光入口特征,可移动载台组件支撑所欲加工的基板。可移动载台组件系相对于顶部构件而设置,以定义一微腔室与一微腔室周边间隙。惰性气体流入周边微腔室沟槽以在微腔室外形成气帘。当可移动载台组件相对于顶部构件移动时,气帘实质上避免了环境中的反应气体进入微腔室中。