真空蒸镀装置

摘要

在一种真空蒸镀装置中，使用复数的蒸发源时，形成于被蒸镀体上的蒸镀膜不易产生不均，可形成所求膜厚的蒸镀膜。;真空蒸镀装置1包含：复数的蒸发源3；以及筒状体4，包围蒸发源3以及被蒸镀体2之间的空间，于被蒸镀体侧具有开口面41。又，具有配置于筒状体4的内部之分隔板7。分隔板7具有开口部70；而开口部70在以重心P为中心之直径D的圆周范围内，设有至少1个以上；直径D，系分隔板7的外周上的2点间距离其最大值之2/3。根据该构成，可使从分隔板7的开口部70往被蒸镀体2侧的气化材料之通量分布为相同，因此在使用复数的蒸发源3时，形成于被蒸镀体2上的蒸镀膜不易产生不均，可形成所求膜厚的蒸镀膜。

主权项

一种真空蒸镀装置，包含：复数的蒸发源，用以将复数种类的材料蒸镀在被蒸镀体上；筒状体，包围该复数的蒸发源以及该被蒸镀体之间的空间，于该被蒸镀体侧具有开口面；以及真空腔室，使配置有该被蒸镀体、该蒸发源以及该筒状体之空间成为真空状态；该真空蒸镀装置之特征在于：更具有配置于该筒状体的内部之分隔板；该分隔板具有开口部；而该开口部在以该分隔板的俯视形状之重心为中心之直径D的圆周范围内，设有至少1个以上；该直径D，系该分隔板的外周上的2点间距离的最大值之2/3。