微球透镜与其阵列的制造方法;FABRICATING METHOD OF MICRO-BALL LENS AND ITS ARRAY

摘要

一种微球透镜与其阵列的制造方法，首先于基板上沉积一层亲水性较高之一第一金属层，再利用黄光微影技术于基板上形成之单一微圆柱光组或微圆柱光阻阵列，然后再将亲水性较低之一第二金属层沉积覆盖于其上，之后利用举离(Lift-off)法去除光阻，以形成金属膜之单一微圆孔洞(Micro-hole)或微圆孔洞阵列，尔后利用黄光微影技术于该单一微圆孔洞或微圆孔洞阵列置入透镜材料，且进行热融回流(Thermal Reflow)，藉由沉积之金属层与基板亲水性的差异及利用金属膜之单一微孔洞或微圆孔洞阵列订出热熔扩散范围，得以将柱形光阻转换成球形之微球透镜或微球透镜阵列。