缺陷检测方法及装置

摘要

使膜在配置成为正交尼科耳之第1和第2偏光板之间行走。卤素灯泡经由第1偏光板对膜照射光。在卤素灯泡所发出之光中只存在一亮线。因膜上之缺陷等而亮度变化之光经由第2偏光板和除去光学系进入到受光器。对受光器之输出信号施以微分处理。从施以微分处理之微分处理信号检测极大信号和极小信号。求得预先设定之基准信号之亮度值和极大信号之亮度值之差分作为第1差分值，和基准信号之亮度值和极小信号之亮度值之差分作为第2差分值。在第1差分值和第2差分值相加后之加算值为一定值以上之情况下，指定极大信号和极小信号成为缺陷信号。

主权项

一种缺陷检测装置，用来检测膜之缺陷，具备：受光手段，具有排列成线状之复数个像素，在该膜之宽度方向进行扫描并输出时间系列之输出信号；微分处理手段，对该输出信号施以微分处理；极值信号检测手段，系在利用该微分处理手段所获得之微分处理信号中，检测在既定像素范围内亮度值成为最大之极大信号和在既定像素范围内亮度值成为最小之极小信号；差分值算出手段，求得预先设定且每次进行缺陷检测时依序更新之基准信号之亮度值和该极大信号之亮度值之差分作为第1差分值，并求得该基准信号之亮度值和该极小信号之亮度值之差分作为第2差分值；加算手段，求得将第1差分值和第2差分值相加所得之加算值；和缺陷信号指定手段，在该加算值为一定值以上的情况下，指定由该极值信号检测手段所检测到之极大信号和极小信号作为缺陷信号。