侦测积体元件中局部机械应力之系统及方法

摘要

提供一种侦测积体元件中局部机械应力之方法，此方法包含：致能一扫瞄探针元件与一积体元件之一表面部分间之一光电压差之侦测，扫瞄探针元件系配置成偏斜以回应光电压差；量测回应扫瞄探针元件及积体元件之表面部分间之光电压差之扫瞄探针元件之偏斜；以及藉由基于扫瞄探针元件之偏斜而决定积体元件之表面部分之局部功函数，计算积体元件内之局部应力等级。

主权项

一种侦测积体元件中机械应力之方法，该方法包含：致能在一扫瞄探针元件及一积体元件之一表面部分间之一光电压差之侦测，该扫瞄探针元件系配置成移动以回应该光电压差；在一共振频率下以一光线照射该积体元件，其中该共振频率导致该扫瞄探针元件移动以回应该光线；量测回应该扫瞄探针元件及该积体元件之该表面部分间之该光电压差之该扫瞄探针元件之该移动；以及藉由基于该扫瞄探针元件之该移动而决定该积体元件之该表面部分之一局部功函数，计算该积体元件内之一局部应力等级。