薄膜太阳能电池及其前电极层之制作方法

摘要

一种薄膜太阳能电池及其前电极层之制作方法，而其前电极具有依序形成之一抗反射层(anti-reflective layer)、一阳极氧化铝层(AAO layer)与一透明导电层(TCO layer)，其中此阳极氧化铝层系根据入射光之四分之一波长而形成具有多个规则排列之孔洞，同时抗反射层具有第一折射率n1，阳极氧化铝层具有第二折射率n2，以及透明导电层具有第三折射率n3，使得该第一折射率n1系大于该第二折射率n2，且第三折射率n3系大于该第二折射率n2。

主权项

一种薄膜太阳能电池，包含有基板、前电极层、光吸收层与背电极层，其中该前电极层包含有依序形成之一抗反射层、一阳极氧化铝层与一透明导电层，其特征在于：该阳极氧化铝层系该抗反射层上一铝金属膜藉由一电解液经阳极氧化处理所产生之结构，该阳极氧化铝层具有多个周期性排列之孔洞，该些孔洞之孔径大小系根据入射光之四分之一波长而决定，其中该抗反射层具有第一折射率n1，该阳极氧化铝层具有第二折射率n2，该透明导电层具有第三折射率n3，使得该第一折射率n1系大于该第二折射率n2，且该第三折射率n3系大于该第二折射率n2。