具有非等长前臂的多轴机器人设备、电子装置制造系统、及用于在电子装置制造中传送基板的方法;MULTI-AXIS ROBOT APPARATUS WITH UNEQUAL LENGTH FOREARMS, ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS, AND METHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING

摘要

本文之实施例包括用于基板传送系统之多臂机器人，该多臂机器人包括转臂、以旋转方式耦接至该转臂之第一及第二前臂(第二前臂比该第一前臂短)、以旋转方式耦接至该第一前臂之第一腕部部件，及以旋转方式耦接至该第二前臂之第二腕部部件。转臂、第一及第二前臂，及第一及第二腕部部件中之每一者经配置以独立旋转以实施基板运动轨迹。本文描述电子装置处理系统及传送基板之方法，亦描述多数个其他态样。