电浆处理方法及电浆处理装置

摘要

本发明之课题;针对阴极耦合方式，在阳极侧之电极附着有堆积膜，极力防止对以后工程之处理造成影响，并且明显提高处理的平均性。;本发明之解决手段;在下部电极之承受器16放置有被处理基板W，由高频电源30来施加电浆产生用的高频。在承受器16上方与此平行相对配置的上部电极34，系经由环状绝缘体35，以电气悬浮状态安装于处理室10。上部电极34上面与处理室10之天花板之间的空间50，设置有电容可变之可变电容器86。配合处理条件，藉由电容控制部85来改变可变电容器86之电容，而切换上部电极34的接地电容。

主权项

一种电浆处理方法，系在可做真空且被接地之处理容器内，隔开特定间隔来平行配置第1电极和第2电极，将被处理基板以第2电极支撑为与上述第1电极相对，然后将上述处理容器内真空排气为特定压力，在上述第1电极与上述第2电极和上述处理容器之侧壁之间的处理空间中供给期望之处理气体，同时仅对上述第1电极与上述第2电极之中的上述第2电极施加高频，而在上述处理空间中产生之电浆下，对上述基板施加期望的电浆处理；其特征系将上述第1电极经由绝缘体或空间安装于上述处理容器，同时经由静电电容之静电电容可变部来电气连接于接地电位，然后对上述第2电极施加第1高频，配合施加于上述基板之电浆处理的处理条件，在堆积膜容易附着于上述第1电极之处理时，将上述静电电容可变部之静电电容切换为较高；在堆积膜难以附着于上述第1电极之处理时，将上述静电电容可变部之静电电容切换为较低。