滑动式反压断开关;SLIDING TYPE PRESSURE SHUT-OFF VALVE

摘要

本发明系一种反压断开关，该反压断开关可以在半导体及LCD等的半导体制造过程或化学产品制造过程等制程中维持一定压力的、或者在将气体等流体的流动维持正方向的配管系统突然发生大气流入或流体反向流动现象时迅速地关断而能够予以防止，更具体地说，该滑动式反压断开关平时由于阀的流体空间通路没有阻碍物而像直管一样地不妨碍流体的流动，当配管内发生反压时所述移送体水平移动到关断位置，在所述关断位置，安置在所述移送体的关断板飘升而关断流体的流动，从而在发生粉末的制程也能顺畅地运行。