氮化铝制造方法

摘要

一种氮化铝制造方法，系将氮化铝粉末与碳化材混合，而形成氮化铝混合材料，且以造粒制程将该氮化铝混合材料制成氮化铝混合粉体，并取氮化铝混合粉体进行烧结，待烧结至适当温度时，该氮化铝混合粉体中之碳化材便与氧结合形成气相之含碳化合物排出，而制成一氮化铝基板。藉此，可于氮化铝基板制作前先将氮化铝粉末与碳化材混合，以利用碳化材本身极佳之热分散稳定性质，增加烧结过程之热均匀性，而可制出纯度高且品质优良之晶圆级(大尺寸)氮化铝基板，而达到有效提升氮化铝基板之产品良率。

主权项

一种氮化铝制造方法，包括有下列步骤：混合：将氮化铝粉末与碳化材混合，而形成氮化铝混合材料，其中该碳化材系可为钻石粉或金刚砂；造粒：以造粒制程将该氮化铝混合材料制成氮化铝混合粉体；以及烧结：取氮化铝混合粉体进行压制并烧结，待烧结至1100℃~1300℃间之适当温度时，该已压制成型之氮化铝混合粉体中之碳化材便与氧结合形成气相之含碳化合物排出，而制成一氮化铝基板。