减少粒子发生之溅镀靶

摘要

一种减少粒子发生之溅镀靶，其表面在富于延展性之基质相内以1～50%之体积比率存在金属间化合物、氧化物、碳化物、碳氮化物、其他无延展性之物质，其特征在于：中心线平均表面粗糙度Ra为0.1μm以下，十点平均粗糙度Rz为0.4μm以下，局部峰顶间距离(粗糙度图形)AR为120μm以下，波纹度图形平均长度AW为1500μm以上。提供一种溅镀靶及其表面加工方法，该溅镀靶可改善大量存在无延展性之物质的靶表面，且可防止或抑制在溅镀时发生结球、粒子。

主权项

一种减少粒子发生之溅镀靶，其表面在富于延展性之基质相内以1~50%之体积比率存在金属间化合物、氧化物、碳化物、碳氮化物、其他无延展性之物质，其特征在于：中心线平均表面粗糙度Ra为0.1μm以下，十点平均粗糙度Rz为0.4μm以下，局部峰顶间距离(粗糙度图形)AR为120μm以下，波纹度图形平均长度AW为1500μm以上。