用以检测光罩形状之非均匀断裂的方法及设备

摘要

本发明之一实施例提供侦测已被断裂成与所希望的组态不同之基元形状组态的给定形状之出现的系统。此系统选择给定形状的断裂形状示例，将其与给定形状之其他断裂形状示例做比较。作为比较程序的一部分，系统产生过滤遮罩图案说明，其包括在遮罩图案说明中匹配选择的断裂形状示例中之至少一基元形状的基元形状。接着，系统从过滤遮罩图案说明辨别匹配给定形状之第一组形状出现，并从遮罩图案说明辨别匹配给定形状之第二组形状出现。系统接着藉由执行第一及第二组形状出现的互斥或比较来产生第三组形状出现。

主权项

一种侦测已被断裂成与所希望组态不同之基元形状的组态之形状的出现之方法，包含：在第一遮罩图案说明中选择一断裂形状示例，其中该断裂形状示例代表第一形状的断裂，其中该断裂形状示例包含配置在特定组态中之一组基元形状，以及其中该第一遮罩图案说明包含该第一形状的多个出现；产生过滤的遮罩图案说明，其包括在该第一遮罩图案说明中匹配该组基元形状中的至少一基元形状的基元形状；从该过滤的遮罩图案说明辨别匹配该第一形状的第一组形状出现；从该第一遮罩图案说明辨别匹配该第一形状的第二组形状出现；以及产生第三组形状出现，其包括：来自该第一组形状出现且不在该第二组形状出现中之形状出现，以及来自该第二组形状出现且不在该第一组形状出现中之形状出现；其中该第三组形状出现有助于辨别与该断裂形状示例相比已被不同地断裂之该第一形状的出现。