用于线锯切割之流体的回收之方法;METHODS FOR THE RECYCLING OF WIRE-SAW CUTTING FLUID

摘要

本发明提供一种用于处理用于半导体晶圆之线锯切割中之冷却液流体的程序，而该冷却液流体包含含矽杂质。该程序包括改变所使用之冷却液流体的性质，使得该等含矽杂质可被过滤且与该冷却液流体相分离，藉此产生适用于一线锯切割操作中之一冷却液流体过滤液。