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Spiegel-Optik für Laserstrahlung, umfassend einen ersten konkaven Spiegel und einen zweiten konvexen Spiegel, wobei die Spiegel eine sphärische Form aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Spiegel und der zweite Spiegel jeweils unter einem Winkelα1 undα2 zum Strahl angeordnet sind, wobei für den halben maximalen Öffnungswinkel des divergenten Strahlsβfolgende Bedingung gilt:β< (2s2α1)/(s1–s2(1–2α1 2) + f/(1–0,5α2 2)),wobei f: Brennweite des Objektivsβ: halber maximaler Öffnungswinkel des div. Strahls in rad NA: numerische Apertur mit NA = sin(β) R1: Betragswert des Krümmungsradius des ersten, konkaven Spiegels R2: Betragswert des Krümmungsradius des zweiten, konvexen Spiegels s1: Schnittweite: Abstand Fokuspunkt zum ersten Spiegel s2: Abstand zwischen den Spiegelnα1: Strahleinfallswinkel Spiegel 1 in radα2: Strahleinfallswinkel Spiegel 2 in rad, bezeichnet und optische und geometrische Parameter in folgenden Wertebereichen liegen: 1,5≤(α1/β)≤2,5 1,8≤(α2/α1)≤2,2 2,0≤(s1/f)≤3,0 0,7≤(s2/f)≤1,0 1,6≤(R1/f)≤2,2 1,0≤(R2/f)≤1,3 2,7≤(s1/s2)≤3,5 1,5≤(R1/R2)≤2,0 |
