| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Überprüfen der Oberfläche einer Prüffläche. Das Verfahren umfasst die Schritte Bestrahlen der Prüffläche mit elektromagnetischen Wellen, Abtasten zumindest eines Teilbereichs der Prüffläche und Ermitteln der Oberflächeneigenschaften der Prüffläche anhand der Lumineszenz-Effekte der bestrahlten Prüffläche. Die Vorrichtung umfasst Beleuchtungsmittel zum Bestrahlen der Prüffläche, mindestens ein Abtastelement zum Abtasten der Prüffläche und mindestens eine Einheit zum Ermitteln der Oberflächeneigenschaften der Prüffläche anhand der Lumineszenz-Effekte der bestrahlten Prüffläche. |
