发明名称 Verfahren zur Herstellung einer durch Abblättern abzutrennenden Verbundstruktur
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Verbundstruktur (225) umfassend eine durch Bestrahlung abzutrennende Schicht (215), wobei das Verfahren das Bilden eins Stapels umfasst, der Folgendes aufweist: ein Trägersubstrat (205), das aus einem Material besteht, das zumindest teilweise transparent auf einer bestimmen Wellenlänge ist; eine abzutrennende Schicht (215); und eine Trennschicht (210), die zwischen dem Trägersubstrat und der abzutrennenden Schicht angeordnet ist, wobei die Trennschicht so aufgebaut ist, dass sie unter der Einwirkung von Strahlung (222a) mit einer Wellenlänge, die der bestimmten Wellenlänge entspricht, durch Abblättern abgetrennt werden kann, wobei das Verfahren des Weiteren während des Schrittes zum Bilden des Verbundes einen Behandlungsschritt zum Modifizieren der optischen Eigenschaften der Reflexion an der Grenzfläche (206) zwischen dem Trägersubstrat und der Trennschicht oder an der Oberseite (205a) des Trägersubstrats umfasst.
申请公布号 DE112012003902(T5) 申请公布日期 2014.07.31
申请号 DE20121103902T 申请日期 2012.07.18
申请人 SOITEC 发明人 GOURDEL, CHRISTOPHE;FIGUET, CHRISTOPHE
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
地址