发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbestimmung mittels Mikrowellen
摘要 <p>Ein Messgerät (4) dient der Vermessung einer Oberfläche eines Messobjekts. Es beinhaltet eine Messeinrichtung (5), welche ausgebildet ist, um ein Messsignal in Richtung des Messobjekts zu senden und anhand eines resultierenden reflektierten Signals eine Mehrzahl von Voxeln zu bestimmen, welche jeweils eine Phase und eine Magnitude des reflektierten Signals und eine Raumkoordinate beinhalten. Weiterhin beinhaltet es eine Oberflächen-Bestimmungseinrichtung (6). Die Raumkoordinaten weisen dabei eine Z-Achse, welche einer Tiefe in dem Messobjekt entspricht und eine X-Achse und eine Y-Achse, welche senkrecht auf der Z-Achse stehen, auf. Die Oberflächen-Bestimmungseinrichtung (6) weist eine Magnituden-Bestimmungseinrichtung (13) zur Bestimmung von Voxeln größter Magnitude unter Voxeln identischer X-Koordinate und identischer Y-Koordinate, eine Phasen-Bestimmungseinrichtung (14) zur Bestimmung der Phasen jeweils zumindest dreier Voxel, wobei die zumindest drei Voxel das Voxel größter Magnitude und/oder benachbarte Voxel sind, eine Winkel-Berechnungseinrichtung (15) zur Bestimmung jeweils eines Normalenvektors der Voxel größter Magnitude aus den jeweiligen Phasen und eine Oberflächen-Rekonstruktionseinrichtung (16) zur Bestimmung der Oberfläche des Messobjekts aus den Raumkoordinaten der Voxel größter Magnitude und den zugehörigen Normalenvektoren auf.</p>
申请公布号 DE102013201469(A1) 申请公布日期 2014.07.31
申请号 DE201310201469 申请日期 2013.01.30
申请人 ROHDE & SCHWARZ GMBH & CO. KG 发明人 AHMED, SHERIF
分类号 G01B15/04 主分类号 G01B15/04
代理机构 代理人
主权项
地址