Prüfverfahren anhand von erfassten Bildern und Prüfvorrichtung

摘要

Prüfverfahren zum optischen Prüfen der Oberfläche eines Prüfobjekts, umfassend die Schritte:–Versetzen des Prüfobjekts (10) in Rotation,–Bestrahlen einer Oberfläche des Prüfobjekts (10) mit weißem Licht einer Beleuchtungseinheit (110),–Abtasten der Oberfläche des Prüfobjekts (10) mit einer Bilderfassungseinheit (100),–Verändern der Polarisationseigenschaft des Lichts in einem ersten Schritt, wobei die Polarisation des Lichts, das von der Oberfläche des Prüfobjekts (10) abgestrahlt wird und dann auf die Bilderfassungseinheit (100) einfällt, geändert wird,–Erfassen von Bildern in einem zweiten Schritt, wobei die aufgenommenen Bilder auf den im ersten Schritt erzeugten unterschiedlichen Polarisationseigenschaften des Lichts beruhen,–Verwenden der im zweiten Schritt aufgenommenen Bilder zum Prüfen der Oberfläche des Prüfobjekts (10), wobei ein Zusammenhang zwischen der Anzahl der erfassten Bilder und der unterschiedlichen Polarisationseigenschaften des Lichts hergestellt wird.