一种基于腔衰荡的痕量气体在线分析装置

摘要

本实用新型公开了一种基于腔衰荡的痕量气体在线分析装置，装置由激光器、光隔离器、光学谐振腔、激光检测器、温控模块、信号处理与控制模块组成。激光器输出激光经光隔离器进入光学谐振腔，光隔离器用于防止激光反射回激光器，光学谐振腔两端装有高反射凹面镜，激光在腔内经多次反射后产生谐振，并输出稳定的激光到激光检测器。当检测到激光输出功率超过一定阈值后，迅速关断激光器，通过检测激光关断后光学谐振腔输出激光能量衰减到设定下限阈值的时间间隔来反求腔内气体浓度。温控模块用于控制光学谐振腔温度，以实现腔长调节。通过结合波长调制和温控腔长调节达到激光器与谐振腔的模式匹配，替代了声光开关和PZT腔长调制，简化了系统结构。

主权项

一种基于腔衰荡的痕量气体在线分析装置，其特征在于，包含依次分布的激光器、光隔离器、光学谐振腔、激光检测器；光学谐振腔是一个两端装有反射凹面镜的直腔，直腔上开有进气口和出气口，防止激光反射回激光器的光隔离器处于激光器与光学谐振腔之间。