一种热偶固定装置

摘要

本实用新型涉及半导体热处理设备领域，公开了一种热偶固定装置，所述热偶固定装置包括压块、夹持件和固定件，所述压块的内部依次设有螺纹孔、锥孔及通孔，所述夹持件包括底座和与底座连接的夹持爪，所述底座与固定件的一端连接，所述夹持爪抵压在锥孔的锥面上，所述固定件与压块螺纹连接，热偶依次穿过通孔、夹持件及固定件。本实用新型的上述技术方案所提供的热偶固定装置，压块与固定件通过螺纹连接，避免在安装固定过程中还要使用其它辅助工具，使安装更为方便；夹持件与固定件接触连接，夹持爪夹持热偶抵压在锥孔锥面上，使在固定热偶时不易磕碰、夹裂热偶，安装更为安全。

主权项

一种热偶固定装置，其特征在于，包括压块（2）、夹持件（3）和固定件（1），所述压块（2）的内部依次设有螺纹孔（23）、锥孔（22）及通孔（21），所述夹持件（3）包括底座（33）和与底座（33）连接的夹持爪（32），所述底座（33）与固定件（1）的一端连接，所述夹持爪（32）抵压在锥孔（22）的锥面上，所述固定件（1）与压块（2）螺纹连接，热偶依次穿过通孔（21）、夹持件（3）及固定件（1）。