差压传感器装置

摘要

通过附接至硅或玻璃隔离物的相对侧的两个单独的硅管芯来提供MEMS差压感测元件。隔离物是空心的。如果隔离物是硅，则管芯优选地通过使用部分由氧化硅层提供的硅到硅结合来附接至空心隔离物。如果隔离物是玻璃，则管芯可以通过使用阳极结合附接至空心隔离物。导电通孔延伸通过层并提供在由硅管芯中的压敏电阻器形成的惠斯通电桥电路之间的电连接。

主权项

一种压力感测元件，包括：具有第一和第二侧的空心隔离物；第一硅管芯，附接至所述空心隔离物的所述第一侧，所述第一硅管芯具有第一和第二侧，所述第一硅管芯的所述第一侧包括电路、电互连、耦合至第一绝缘的导电通孔的第二绝缘的导电通孔、和第一硅膜片；以及第二硅管芯，附接至所述空心隔离物的所述第二侧，所述第二硅管芯具有第一和第二侧，所述第二硅管芯的所述第一侧包括电路、电互连和第二硅膜片；由此所述空心隔离物、所述第一硅管芯和所述第二硅管芯形成空腔。