发明名称 长波长扫描近场显微分析系统
摘要 本发明提供了一种长波长扫描近场显微分析系统。该长波长扫描近场显微分析系统集成宽频长波长和单频太赫兹波、利用扫描探针、集成可变电场、可变磁场、可变温度场的近场显微分析系统,填补了在近场显微领域里长波长波段的技术空白,连接起近场光学显微技术、近场微波显微技术,为科研人员提供了一种全方位的样品物性测试工具。
申请公布号 CN103954802A 申请公布日期 2014.07.30
申请号 CN201410200652.X 申请日期 2014.05.13
申请人 中国科学技术大学 发明人 陆亚林;杨蒙蒙;黄秋萍;胡翔;陆轻铀
分类号 G01Q60/18(2010.01)I 主分类号 G01Q60/18(2010.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 曹玲柱
主权项 一种长波长扫描近场显微分析系统,其特征在于,包括:飞秒激光器(1);第一光学分束镜(2),位于所述飞秒激光器(1)的光路后方,所述飞秒激光器(1)发出的飞秒激光经该光学分束镜(2)后分为泵浦光和探测光;第一斩波器(3),位于所述光学分束镜(2)的泵浦光路的光路后方,所述泵浦光经该第一斩波器(3)后形成预设长度和周期的脉冲;长波发射单元4,位于所述第一斩波器(3)的光路后端,在所述预设长度和周期的脉冲的作用下,产生长波长入射光波;第一离轴抛物面镜组(10a和10b),位于所述长波发射单元(4)的光路后方,所述长波长入射光波在该第一离轴抛物面镜组的作用下,聚焦于样品承载件(9)上样品(8)表面;所述长波长入射光波照射至所述样品(8)和近场扫描探针(7)的针尖上,该针尖与样品(8)形成局域近场相互作用,反射的长波长光波携带了局域近场信息;第二离轴抛物面镜组(10c和10d),所述从样品表面反射的长波长光波由该第二离轴抛物面镜组收集和聚焦;长波长探测单元(5),位于所述光学分束镜(2)的探测光路的光路后方,经由时间延迟线(12)和探测光反射镜组(11a,11b和11c)后的探测光以及由第二离轴抛物面镜组收集和聚焦的长波光波由该长波长探测单元(5)进行探测;以及锁相放大器(6),与所述长波长探测单元(5)电性连接,用于采用所述第一斩波器(3)的频率输出作为参考信号,记录由所述长波长探测单元探测的电流信号或电压信号。
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