一种MEMS加速度计

摘要

一种MEMS加速度计，包括：基板以及设置在所述基板上的加速度敏感芯片和集成电路，所述基板上还设置有温度传感器，所述温度传感器紧邻所述加速度敏感芯片；所述加速度敏感芯片包括多个测量体，每个所述测量体包括：质量块以及梳齿结构；所述梳齿结构包括从所述质量块上延伸出的活动梳齿，以及与所述活动梳齿相互间隔设置的固定梳齿，所述活动梳齿与所述固定梳齿形成有差分检测电容；所述梳齿结构为多组，多组梳齿结构分成第一部分和第二部分，第一部分梳齿结构与第二部分梳齿结构活动间隙变化方向相反，第一部分梳齿结构中的一组和第二部分梳齿结构中的一组输出一电信号。本发明的结构解决了传统MEMS加速度计温度系数大，温度滞回大的问题。

主权项

一种MEMS加速度计，包括：基板以及设置在所述基板上的加速度敏感芯片和集成电路，其特征在于，所述基板上还设置有温度传感器，所述温度传感器紧邻所述加速度敏感芯片；所述集成电路分别与所述加速度敏感芯片以及所述温度传感器相电连接；所述加速度敏感芯片包括多个测量体；每个所述测量体包括：质量块以及梳齿结构；所述梳齿结构包括从所述质量块上延伸出的活动梳齿，以及与所述活动梳齿相互间隔设置的固定梳齿，所述活动梳齿与所述固定梳齿之间形成有差分检测电容；所述梳齿结构为多组，多组梳齿结构分成第一部分和第二部分，第一部分梳齿结构与第二部分梳齿结构活动间隙变化方向相反，第一部分梳齿结构中的一组和第二部分梳齿结构中的一组输出一电信号。