用于处理基板的腔室

摘要

本实用新型提供了一种用于处理基板的腔室，所述腔室包括箍组件，箍组件包括:限制环，该限制环于该限制环内限定限制区；及三或更多个升降指，该三或更多个升降指附接于该箍。该三或更多个升降指经设置以支撑在限制环的内容积外的基板。

主权项

一种用于处理基板的腔室，所述腔室包括： 腔室主体，所述腔室主体于所述腔室主体内限定腔室容积，所述腔室主体具有可密封基板转移开口； 基板支撑托架组件，所述基板支撑托架组件设置于所述腔室容积内；以及 箍组件，所述箍组件在所述腔室容积内部可移动，其中，所述箍组件包括限制环，所述限制环于所述限制环内限定限制区，所述箍组件的所述限制环在升高位置与降低位置之间可移动，并且当所述箍组件在所述降低位置时，所述限制区在所述基板支撑托架组件上方。