发明名称 | MEMS地震检波器 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种MEMS地震检波器,其包括设有上盖的保护壳、设置在保护壳内的MEMS机芯和设置在保护壳外的尾锥,其中,MEMS机芯包括固定在保护壳内的机芯壳、设置在机芯壳内的支撑架和设置在支撑架上的多个MEMS加速度计;上述支撑架为长方体状;上述MEMS加速度计为电容式加速度计,包括X加速度计、Y加速度计和Z加速度计,三者分别立设于支撑架上相邻的三个侧面上,且Z加速度计所处的侧面为支撑架上朝向上盖的顶面;上述尾锥设置在螺杆上,螺杆穿过保护壳的底板并与机芯壳相抵。该MEMS地震检波器中避免了使用具有固有频率的线圈,可记录的动态范围大,响应频带宽、分辨率高,利于探测由人工震源产生的全部宽频带弹性波。 | ||
申请公布号 | CN203745660U | 申请公布日期 | 2014.07.30 |
申请号 | CN201420068594.5 | 申请日期 | 2014.02.17 |
申请人 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 发明人 | 麻三怀;杨长春;俞度立;冯方方 |
分类号 | G01V1/18(2006.01)I | 主分类号 | G01V1/18(2006.01)I |
代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人 | 张瑾 |
主权项 | 一种MEMS地震检波器,其特征在于,包括:设有上盖的保护壳、设置在保护壳内的MEMS机芯和设置在保护壳外的尾锥; 其中,所述MEMS机芯包括固定在所述保护壳内的机芯壳、设置在所述机芯壳内的支撑架和设置在支撑架上的MEMS加速度计;所述支撑架为长方体;所述MEMS加速度计为电容式加速度计,包括X加速度计、Y加速度计和Z加速度计,三者分别立设于所述支撑架上相邻的三个侧面上,且所述Z加速度计所处的侧面为所述支撑架上朝向所述上盖的侧面;所述尾锥设置在螺杆上;所述螺杆穿过所述保护壳的底板,并与所述机芯壳相抵。 | ||
地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路19号 |