一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器

摘要

本实用新型是一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，它属于光纤传感器技术领域。它包括LD光源、光纤定向耦合器、光电探测器、传感探头、匹配液、微加工的光纤光栅、金属镀膜、匹配滤波FBG。本实用新型通过空气阻尼影响器光纤光栅悬臂梁谐振子传感器的品质因数进而影响光纤光栅悬臂梁的谐振幅度，最终改变FBG悬臂梁谐振子传感器反射信号中心波长变化来测量真空度。本实用新型结构简单，抗电磁干扰性能强，可以满足微型化、实时在线分布式和多点监测的要求。

主权项

一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，包括LD光源(1)、光纤定向耦合器(2)、光电探测器(3)、传感探头(4)、匹配液(5)、微加工的光纤光栅(6)、金属镀膜(7)、匹配滤波FBG(8)；所述的LD光源(1)与光纤定向耦合器的一端口(100)连接，定向耦合器的二端口(101)连接匹配滤波FBG(8)，光电探测器(3)连接匹配滤波FBG(8)的另一端，光纤定向耦合器的三端口(102)与传感探头(4)连接，光纤定向耦合器的四端口(103)浸入匹配液(5)组成完整的真空度探测系统。