| 发明名称 | 静电夹具 | ||
| 摘要 | 一种静电夹具(8)包括电介质板(14)、在电介质板(14)内形成的电极(15)、和向电极(15)施加电压的外部电源(15)，所述电介质板(14)具有其上形成有用于在顶表面上支撑基板的多个凸起(17a)和包围所述凸起(17a)的凹陷(17b)的上表面。电介质板(14)包含至少在各凸起(17a)的顶表面上形成的导体膜(19)，并具有在向电极(15)施加电压时导致导体膜(19)在基板(9)和导体膜(19)之间产生约翰逊-拉别克力的三维结构。 | ||
| 申请公布号 | CN101802998B | 申请公布日期 | 2014.07.30 |
| 申请号 | CN200880022898.5 | 申请日期 | 2008.09.10 |
| 申请人 | 佳能安内华股份有限公司 | 发明人 | 有贺芳树;森本荣太郎;田中洋;金子一秋 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;C23C14/50/(2006.01)I;H01L21/205/(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H02N13/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 魏小薇 |
| 主权项 | 一种静电夹具，该静电夹具包括电介质板和在所述电介质板内形成并接收来自外部电源的电压的电极，所述电介质板具有上表面，在所述上表面上，形成有用于在顶表面上支撑基板的多个凸起和包围所述凸起的凹陷， 其中，所述电介质板包含导体膜，所述导体膜至少在各凸起的顶表面上被形成，并且，所述导体膜由选自由作为具有不大于400μΩ·cm的电阻率的电导体的金属、金属氧化物和金属氮化物组成的组的一种材料制成， 分别具有所述导体膜的凸起的顶表面具有其最大表面粗糙度Ry不大于2.5μm且中心线平均粗糙度Ra不大于0.25μm的三维结构， 形成在每个凸起的顶表面上的所述导体膜与其它导体膜电学隔开， 所述导体膜的表面被形成为与所述基板的下表面接触，以及 所述基板是覆盖有高k氮化硅膜的基板。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||