振动元件、振子、电子器件以及电子设备

摘要

用基波实现CI值小、且抑制了附近寄生的高频的小型振动元件。压电振动元件（1）具备：具有矩形的振动区域（12）和支承部（13）的压电基板（10）；激励电极（25a、25b）；以及引线电极（27a、27b）。支承部（13）具有第1支承部（14）、第2支承部（15）和第3支承部（16）。第2支承部（15）设置有至少一个狭缝（20）。使激励电极（25a、25b）与引线电极（27a、27b）的电极材料、膜厚不同而构成。

主权项

一种振动元件，该振动元件包含： 基板，其包含薄壁部、以及与所述薄壁部一体化且厚度比所述薄壁部厚的第1厚壁部、第2厚壁部和第3厚壁部，其中，所述薄壁部包含振动区域，以使得所述薄壁部的一部分外缘敞开的方式，在俯视时所述第1厚壁部和所述第2厚壁部夹着所述薄壁部进行配置，所述第3厚壁部与所述第1厚壁部的一个端部以及所述第2厚壁部的一个端部连接； 设置在所述薄壁部上的激励电极；以及 引线电极，其从所述激励电极延伸设置到所述厚壁部上， 该振动元件的特征在于，所述基板是这样的石英板： 以作为电轴的X轴、作为机械轴的Y轴以及作为光轴的Z轴中的所述X轴为旋转轴，使所述Z轴以+Z侧朝所述Y轴的－Y方向旋转的方式倾斜后的轴为Z’轴，使所述Y轴以+Y侧朝所述Z轴的+Z方向旋转的方式倾斜后的轴为Y’轴， 与所述X轴以及所述Z’轴平行的面为主面， 与所述Y’轴平行的方向为厚度方向， 其中，所述电轴、所述机械轴和所述光轴是石英晶轴， 所述第1厚壁部和所述第2厚壁部沿着与所述X轴交叉的方向配置， 所述第3厚壁部和所述一部分外缘沿着与所述Z’轴交叉的方向配置， 所述引线电极包含： 设置在所述薄壁部的主面上且厚度为t1的第1引线电极；以及 设置在所述厚壁部和所述薄壁部的主面上且厚度为t2的第2引线电极， 并且，所述引线电极还包含所述第1引线电极的至少一部分与所述第2引线电极的至少一部分在所述薄壁部的主面上重叠的区域， 且满足t1＜t2。