主权项 |
一种大外径变形镜主镜的加工方法,其特征在于:它包括以下步骤:步骤一、将零膨胀光学玻璃ULE材料成型加工为外径大于200mm的方形或者圆形零件,要求其厚度大于10mm,其中零件的外径与厚度之比小于15;将该零件的其中一面设为第一面,另一面为第二面;步骤二、对零件的第一面进行精磨及抛光,要求第一面完工后零件的外径与厚度之比为18~20,同时在第一面上外径为200mm的范围内,其面形为低1个光圈;再对零件的四周进行倒角;步骤三、对整个零件采用全封蜡方式上盘,将零件粘接在玻璃垫板上,对零件的第二面进行环型精磨,使加工后的零件厚度比主镜的要求厚度要厚0.15mm~0.25mm;再用丙酮或者溶蜡剂泡掉零件表面的封蜡,并清洗干净;对第二面进行细沙研磨,确保第二面的面形为低圈;步骤四、在第一面上涂一层光学保护漆,在磁性压盘内垫一层湿润的棉布,将零件放入磁性压盘的凹槽内,确保零件的第一面与棉布之间相互吸引;将压盘上的零件对准加工设备中的抛光磨具,并对第二面进行抛光; 步骤五、在抛光之前,对加有氧化铈的抛光液采用超声波清洗机进行超声波振动约20分钟,抛光液和环境温度均控制在22~25度;对第二面进行抛光的过程中,需采用大外径干涉仪对面形进行在线控制;当抛光的面形达到低2个光圈后,再将零件换至专用抛光机上进行浸夜抛光,使抛光液完全淹没整个零件,并对第二面进行修正,确保第二面的面形为低1个圈;步骤六、将磁性压盘连带零件放入超声波清洗槽内,要求零件向上,且在零件周围加设有保护措施;振动约10~20分钟,使零件与磁性压盘自动分开。 |