| 发明名称 | 一种钛靶材及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于真空溅射镀膜的钛靶材及其制造方法，钛靶材含有Au、Cu，按质量百分比计合金组成为：0.03％＞Au＞0.01％、0.1％＞Cu＞0.07％，Fe＜0.05％、0＜0.04％、N＜0.015％，余量为Ti。其制造方法是采用粒度在-300目至-400目的AuCu20合金粉未和1/2英寸的小规格海绵钛种钛混合后，采用电子轰击炉进行电子束冷床熔炼提纯后制成钛锭，通过机械加工方法将钛锭制成所需规格尺寸的钛靶材，采用本发明的钛靶材所制成的镀膜颜色呈金黄色，且比常规镀膜具有耐磨性强、附着力强的特点，从而取得较强的市场竞争力和良好经济效益的作用。 | ||
| 申请公布号 | CN102453873B | 申请公布日期 | 2014.07.30 |
| 申请号 | CN201010522875.X | 申请日期 | 2010.10.26 |
| 申请人 | 宝鸡市嘉诚稀有金属材料有限公司 | 发明人 | 张金波;郑杰 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;C22C14/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人 | 涂秀清 |
| 主权项 | 一种钛靶材，其特征在于：钛靶材含有Au、Cu，按质量百分比计合金组成为：0.03%＞Au＞0.01%、0.1%＞Cu＞0.07%，Fe<0.05%、O<0.04%、N<0.015%，余量为Ti。 | ||
| 地址 | 721013 陕西省宝鸡市高新开发区高新11路中段 | ||