基于光纤光栅的热线式流量传感器件

摘要

本发明公开了一种基于光纤光栅的热线式流量传感器件。包括温度补偿段光纤和流量测量段光纤；温度补偿段光纤纤芯写入第一光纤光栅，流量测量段光纤纤芯写入第二光纤光栅，第二光纤光栅所在光纤的包层表面镀有一层金属离子形成金属膜，错位熔接区的耦合率通过调整温度补偿段光纤和流量测量段光纤端面的横向错位距离来实现。本发明将光纤光栅技术与热线式流量传感技术相结合，实现了温度与流量双参量的实时测量，具有制作简单、体积小、灵敏度高、成本较低等优点，可用于微小气体流量的测量。

主权项

一种基于光纤光栅的热线式流量传感器件，其特征在于：包括温度补偿段光纤（1）和流量测量段光纤（2）；温度补偿段光纤（1）纤芯写入第一光纤光栅（3），流量测量段光纤（2）纤芯写入第二光纤光栅（6），第二光纤光栅（6）所在光纤的包层表面镀有一层金属离子形成金属膜（5），温度补偿段光纤（1）和流量测量段光纤（2）之间的错位熔接区（4）的耦合率通过调整温度补偿段光纤（1）和流量测量段光纤（2）端面的横向错位距离来实现；所述的第二光纤光栅（6）的尺寸为4mm；所述的错位熔接区（4）横向错位距离为7～8μm，错位熔接区（4）反射率为5dB；所述的金属离子形成金属膜（5）是使用真空蒸发镀膜机进行镀银的，镀银长度为4mm，镀银厚度为25nm，银的外表面镀上SiO₂，厚度为100nm。