发明名称 缺陷检查用图像处理装置和缺陷检查用图像处理方法
摘要 本发明提供一种缺陷检查用图像处理装置等,其能够用产生的光线路径的不同变化来一次性以足够的精度检测出各种类型的缺陷。缺陷检查用图像处理装置(图像分析装置)(6)是对将移动中的成型片用区域相机(5)在时间上连续拍摄的图像数据进行处理的装置,包括:数据提取部(11),其对于图像数据上不同的多个位置,从不同的图像数据中分别提取相同位置的行数据;数据存储部(13),其按照图像数据上的每个位置将多个行数据在时序上进行排列,从而生成多个行合成图像数据;变化量计算部(15),其对多个行合成图像数据进行微分操作符运算,生成多个强调图像数据;相同部位判定提取部(16),其从多个强调图像数据中提取表示成型片的相同部位的强调图像数据;和累计部17,其按照每个像素将提取的强调图像数据的亮度值进行累计,从而生成缺陷检查用图像数据。
申请公布号 CN102630299B 申请公布日期 2014.07.30
申请号 CN201080048759.7 申请日期 2010.09.29
申请人 住友化学株式会社 发明人 广濑修
分类号 G01N21/892(2006.01)I 主分类号 G01N21/892(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 蒋亭
主权项 一种缺陷检查用图像处理装置,其处理在使被检查物和摄像部进行相对移动的状态下由摄像部在时间上连续拍摄到的上述被检查物的二维图像的图像数据,且由此生成用于检查上述被检查物的缺陷的缺陷检查用图像数据,该装置的特征在于,包括:相同行提取机构,其从多个不同的图像数据中,分别提取图像数据上位置相同的1行的行数据;以及行合成机构,其将由上述相同行提取机构所提取的行数据按时序进行排列,从而生成多行的行合成图像数据,上述相同行提取机构针对上述图像数据上不同的多个位置,分别提取上述行数据,上述行合成机构针对上述图像数据上的每个位置,将由上述相同行提取机构所提取的行数据按时序进行排列,从而生成不同的多个行合成图像数据,上述装置还包括:操作符运算机构,其对上述多个行合成图像数据,分别进行使用了用于强调亮度变化的操作符的运算,生成1行或者多行的多个强调图像数据;以及累计机构,其按照每个像素来累计对上述被检查物的相同部位进行表示的上述多个强调图像数据的亮度值,从而生成缺陷检查用图像数据。
地址 日本东京都