一种基于结构光的IC引脚共面度测量系统及其测量方法

摘要

本发明公开了一种基于结构光的IC引脚共面度测量系统及其测量方法，包括：图形投影仪，测角仪、漫射陶瓷标定板、A远心镜头、B远心镜头、CCD相机和计算机；图形投影仪连接Ａ远心镜头，通过夹持装置固定在隔振试验台上，图形投影仪的光线垂直于隔振试验台的平面，待测IC芯片放置于图形投影仪正下方的水平面上；B远心镜头连接到CCD相机，通过夹持装置固定在隔振试验台上，CCD相机的光线与隔振试验台的平面呈一定夹角。本装置能够将IC引脚共面度的测量转化为基于机器视觉的智能化测量，引脚的共面度测量在图像上映射为芯片表面与引脚表面光栅条纹间的高度差。设备成本低，技术手段简便易行，省去了繁琐的公式推导与计算，提高了测试的效率。

主权项

一种基于结构光的IC引脚共面度测量系统，其特征在于包括：图形投影仪，测角仪、圆形线光栅片、漫射陶瓷标定板、A远心镜头、B远心镜头、CCD相机和计算机；所述圆形线光栅片放置于图形投影仪中；所述图形投影仪连接Ａ远心镜头，通过夹持装置固定在隔振试验台上，图形投影仪的光线垂直于隔振试验台的平面，待测IC芯片放置于图形投影仪正下方的水平面上；所述B远心镜头连接到CCD相机，通过夹持装置固定在隔振试验台上，CCD相机的光线与隔振试验台的平面呈15°～60°夹角，CCD相机连接到计算机，在计算机上显示由CCD相机拍摄到的带有光栅条纹的IC芯片图像，调整CCD相机的角度使图像中的光栅条纹显示为水平直线。