微机电开关及其相关方法

摘要

开关包括安置于基板上的梁电极。梁包括耦合至梁电极的至少一个锚部分、沿第一方向从至少一个锚部分延伸的第一梁部分以及沿与第一方向相反的第二方向从至少一个锚部分延伸的第二梁部分。第一控制电极安置于基板上，面向第一梁部分。第一接触电极安置于基板上，面向第一梁部分。第二控制电极安置于基板上，面向第二梁部分。第一控制电极和第二控制电极耦合以形成栅极。第二接触电极安置于基板上，面向第二梁部分。

主权项

一种微机电系统（MEMS）开关，包括：基板；安置于所述基板上的梁电极；梁，包括耦合至所述梁电极的至少一个锚部分、沿第一方向从所述至少一个锚部分延伸的第一梁部分以及沿与所述第一方向相反的第二方向从所述至少一个锚部分延伸的第二梁部分；面向所述第一梁部分的安置于所述基板上的第一控制电极；面向所述第一梁部分的安置于所述基板上的第一接触电极；面向所述第二梁部分的安置于所述基板上的第二控制电极；其中，所述第一控制电极和所述第二控制电极耦合以形成栅极；以及面向所述第二梁部分的安置于所述基板上的第二接触电极。